Giới thiệu mỡ silicon chân không – phụ kiện quan trọng cho hệ PVD
1. Mỡ silicon chân không là gì?
Mỡ silicon chân không (Vacuum Silicone Grease) là loại mỡ bôi trơn đặc biệt được thiết kế để hoạt động trong môi trường chân không cao, nơi các loại mỡ thông thường dễ bị bay hơi hoặc phân hủy.
Nhờ độ ổn định nhiệt vượt trội và khả năng chịu áp suất thấp, mỡ silicon chân không trở thành phụ kiện không thể thiếu trong các hệ thống mạ PVD, CVD, và thiết bị chân không công nghiệp.
2. Đặc tính nổi bật của mỡ silicon chân không
-
Độ bay hơi cực thấp, đảm bảo không gây nhiễm bẩn trong buồng chân không.
-
Ổn định nhiệt tốt, làm việc hiệu quả trong dải nhiệt từ -40°C đến +200°C (một số loại đặc biệt lên đến 250°C).
-
Không dẫn điện, không ăn mòn kim loại – phù hợp sử dụng cho các vị trí làm kín, nối ren, van, cổng khí.
-
Tương thích với nhiều vật liệu như kim loại, thủy tinh, cao su và nhựa chịu nhiệt.
-
Tạo màng bôi trơn bền vững, giúp gioăng và seal duy trì độ kín lâu dài, giảm mài mòn.
3. Ứng dụng trong hệ thống PVD
Trong máy mạ PVD (Physical Vapor Deposition), mỡ silicon chân không thường được sử dụng cho:
-
Bôi trơn gioăng (O-ring) tại các vị trí cửa buồng, van hút khí, ống nối.
-
Làm kín các khớp ren và khớp nối kim loại, tránh rò rỉ khí.
-
Bảo vệ bề mặt tiếp xúc khỏi oxy hóa khi làm việc ở nhiệt độ cao.
-
Giảm hao mòn cơ học khi thao tác đóng mở buồng mạ nhiều lần.
Nhờ khả năng ổn định trong môi trường chân không sâu (đến 10⁻⁶ Torr), mỡ silicon giúp duy trì độ kín buồng ổn định, đảm bảo chất lượng lớp phủ PVD đồng đều và giảm thiểu lỗi mạ.
4. Một số thông số kỹ thuật tham khảo
| Thông số |
Giá trị điển hình |
| Màu sắc |
Trong suốt hoặc trắng sữa |
| Nhiệt độ làm việc |
-40°C đến +200°C |
| Độ bay hơi (200°C/24h) |
≤ 0,5% |
| Áp suất hơi tối đa |
≤ 10⁻⁶ Torr |
| Độ nhớt |
Cao, dính chắc bề mặt |
| Thành phần chính |
Polydimethylsiloxane (PDMS) + chất làm đặc vô cơ |
5. Lưu ý khi sử dụng
-
Chỉ bôi một lớp mỏng đều lên bề mặt gioăng hoặc ren – không nên bôi quá nhiều.
-
Tránh để mỡ dính vào khu vực buồng mạ hoặc các bề mặt quang học.
-
Đóng kín nắp hộp sau khi dùng, bảo quản nơi khô mát, tránh ánh nắng trực tiếp.
6. Kết luận
Mỡ silicon chân không là phụ kiện nhỏ nhưng đóng vai trò lớn trong việc đảm bảo hiệu suất và độ ổn định của hệ thống PVD. Việc lựa chọn mỡ silicon chất lượng cao giúp kéo dài tuổi thọ thiết bị, duy trì độ chân không ổn định và đảm bảo chất lượng lớp phủ đạt tiêu chuẩn quang học cao nhất.